1.高精度微观表面测量 2.无接触式测量

3.快速测量与数据处理 4.大面积扫描能力

5.高度可定制化6.多种分析模式

1.膜层厚度无损测量2.支持测量区域光斑可视 

3.支持带图形样品、粗糙表面样品测量4.支持微小区域测量

5.支持厚度均匀性测量 6.支持参数调整测量

1.膜层厚度无损测量2.膜层折射率无损测量 

3.可测多种薄膜4.支持单层、多层膜测量

5.支持平面曲面测量6.支持参数调整测量

1.自动光学对焦2.光强选择

3.相位补偿4.一键式完成对各种薄膜的

5.直接测量及分析工作6.软件功能强大，系统稳定美观

1.纳米精度薄膜厚度检测2.非接触无损测量

3.自动Mapping功能4.多样化数据输出

5.易于集成