3D光学轮廓仪MTMI100

白光干涉技术测量表面轮廓

3D光学轮廓仪MTMI100

高精度

软件易用

应用广泛

数据直观

产品描述

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于光学制造、材料科学、机械制造和电子工业等领域,为用户提供准确的表面形貌测量解决方案。

产品功能

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高精度微观表面测量

提供高分辨率的表面形貌测量,精度达到亚微米级,适用于精密 加工领域。

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无接触式测量

采用非接触式测量技术,避免了因接触式测量可能产生的表面损伤或应力,适用于脆弱材料。

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快速测量与数据处理

提供高速度的数据采集和处理,能够在短时间内获取大量表面信息,提高生产效率。

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大面积扫描能力

支持大面积拼接扫描,适用于需要大范围表面分析的工业应用。

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高度可定制化

提供灵活的软件配置和硬件选项,能够根据客户的具体需求进行定制。

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多种分析模式

提供丰富的表面分析功能,如轮廓分析、粗糙度分析等,满足不同应用需求。

产品特点

1.通过工作原理图展示白光干涉仪如何利用光干涉技术进行高精度测量,阐述其无接触、非破坏性特点。

2.展示用户友好的软件界面,突出其易操作、自动化处理和数据可视化的特点。

3.显示仪器的实际应用,例如在半导体、精密制造等领域中的应用案例,突出其应用的广泛性。

4.展示仪器测量后生成的各种分析结果,如表面粗糙度、形貌轮廓图等,通过图表和数据展示其分析功能和数据的直观性。



三视图
  • 正视图

    正视图

  • 侧视图

    侧视图

  • 后视图

    后视图

  • 正视图

    正视图

  • 侧视图

    侧视图

  • 后视图

    后视图

技术参数
扫描范围15mm
扫描速度10μm/s
干涉物镜标配:10x 选配:2.5x、5x、20x、50x、100x
转塔手动
标准视场1mm×1mm(10×物镜+0.5×成像模组)
XY位移台尺寸 300*300mm
移动范围 100*100mm
负载10kg
控制方式电动/手动
调节角度±5°
Z轴聚焦聚焦方式自动/手动
行程30mm
控制方式电动
粗糙度 RMS 重复性*0.005nm
台阶测量重复性0.1%(1σ)


检测案例
  • 16线光栅检测

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  • 90nm台阶块检测

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  • 硅片检测

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  • 镜片检测

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