产品描述
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于光学制造、材料科学、机械制造和电子工业等领域,为用户提供准确的表面形貌测量解决方案。
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于光学制造、材料科学、机械制造和电子工业等领域,为用户提供准确的表面形貌测量解决方案。
1.通过工作原理图展示白光干涉仪如何利用光干涉技术进行高精度测量,阐述其无接触、非破坏性特点。
2.展示用户友好的软件界面,突出其易操作、自动化处理和数据可视化的特点。
3.显示仪器的实际应用,例如在半导体、精密制造等领域中的应用案例,突出其应用的广泛性。
4.展示仪器测量后生成的各种分析结果,如表面粗糙度、形貌轮廓图等,通过图表和数据展示其分析功能和数据的直观性。
正视图
侧视图
后视图
正视图
侧视图
后视图
扫描范围 | 15mm | |
扫描速度 | 10μm/s | |
干涉物镜 | 标配:10x 选配:2.5x、5x、20x、50x、100x | |
转塔 | 手动 | |
标准视场 | 1mm×1mm(10×物镜+0.5×成像模组) | |
XY位移台 | 尺寸 | 300*300mm |
移动范围 | 100*100mm | |
负载 | 10kg | |
控制方式 | 电动/手动 | |
调节角度 | ±5° | |
Z轴聚焦 | 聚焦方式 | 自动/手动 |
行程 | 30mm | |
控制方式 | 电动 | |
粗糙度 RMS 重复性* | 0.005nm | |
台阶测量重复性 | 0.1%(1σ) |
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