产品描述
紧凑型反射式膜厚仪测量系统,初学者也能轻松上手解析,单点对焦并测量耗时1秒内完成,支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析。用于表征介质保护膜、半导体薄膜、玻璃镀膜等各种样式薄膜膜厚的光学计量专业化工具。
紧凑型反射式膜厚仪测量系统,初学者也能轻松上手解析,单点对焦并测量耗时1秒内完成,支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析。用于表征介质保护膜、半导体薄膜、玻璃镀膜等各种样式薄膜膜厚的光学计量专业化工具。
1.高精度、高稳定性
2.光学干涉方式,无损测量
3.多类解析算法,可精准和估算测量,满足不同测量需要
4.高速测量,绝大多数样品可1s内完成测量
5.软件简洁,测量一键操作,简单易用
6.机型结构小巧,轻质化设计,便于携带
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波长范围 | 400-850nm |
测量范围(光学厚度) | 50nm-80μm |
测量重复性(RMS) | 0.4nm |
测量绝对精度(与椭偏仪对比) | 2nm或0.4%(以最大值为准) |
入射角度 | 90° |
光斑尺寸 | 标准1.5mm |
测量时间 | 4ms-100ms |
基片测量范围 | 100mm,360° |
通信接口 | USB3.0 |
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