产品描述
紧凑型反射式膜厚仪测量系统，初学者也能轻松上手解析，单点对焦并测量耗时1秒内完成，支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析。用于表征介质保护膜、半导体薄膜、玻璃镀膜等各种样式薄膜膜厚的光学计量专业化工具。
紧凑型反射式膜厚仪测量系统，初学者也能轻松上手解析，单点对焦并测量耗时1秒内完成，支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析。用于表征介质保护膜、半导体薄膜、玻璃镀膜等各种样式薄膜膜厚的光学计量专业化工具。
1.高精度、高稳定性
2.光学干涉方式，无损测量
3.多类解析算法，可精准和估算测量，满足不同测量需要
4.高速测量，绝大多数样品可1s内完成测量
5.软件简洁，测量一键操作，简单易用
6.机型结构小巧，轻质化设计，便于携带
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| FT100 | FT100-IR | |
| 波长范围 | 400-850nm | 950nm-1050mm |
| 测量范围（光学厚度） | 50nm-80μm | 10μm-1mm |
| 测量重复性（RMS） | 0.4nm | 5nm |
测量绝对精度（与椭偏仪对比） | 2nm或0.4%（以最大值为准） | 50nm或0.5%（以最大值为准） |
| 入射角度 | 90° | 90° |
| 光斑尺寸 | 标准1.5mm | 标准1.5mm |
| 测量时间 | 4ms-1s | 4ms-1s |
| 基片测量范围 | 100mm，360° | 100mm，360° |
| 通信接口 | USB3.0 | USB3.0 |
欢迎致电:
400-882-1301
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