采用先进光学设计和高质量非球面透镜，确保成像边缘和中心区域的一致性， 畸变率低于 0.1%，满足高精度光刻需求。
支持高精度的倍率调节功能，倍率误差控制在±0.01%以内，确保图案转移的精确性。
集成均匀化照明技术，确保曝光区域光强分布一致，提升光刻质量。
支持紫外（UV）多种波长光源，适应不同光刻工艺需求。
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