光学散射表面缺陷检测仪器W8P1具备明场、暗场以及先进的缺陷自动分类检测技术。采用蓝光高亮光源与635nm高功率激光光源，结合高分辨率物镜成像与光电倍增管非成像探测，针对表面裂纹、麻点、破边、颗粒、水溃等缺陷表现卓越。专注于光滑表面样品缺陷检测，可以应用于半导体元件（ sI / GaN / SIC 等）与其他光学元件（光学镜片／玻璃等）等领域。